光学 精密工程, 2012, 20 (8): 1747, 网络出版: 2012-09-04
集成双光栅干涉微梁位移测量方法
Interferometric displacement measurement of microcantilevers based on integrated dual gratings
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20122008.1747 |
中图分类号: | TH744.3;TH822 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.91023027,No.50730009) |
收稿日期: | 2012-04-26 |
修改稿日期: | 2012-06-08 |
网络出版日期: | 2012-09-04 |
通讯作者: | 冯金扬 (fengjy06@mails.thu.edu.cn) |
备注: | -- |
冯金扬, 叶雄英, 陈烽, 商院芳. 集成双光栅干涉微梁位移测量方法[J]. 光学 精密工程, 2012, 20(8): 1747. FENG Jin-yang, YE Xiong-ying, CHEN Feng, SHANG Yuan-fang. Interferometric displacement measurement of microcantilevers based on integrated dual gratings[J]. Optics and Precision Engineering, 2012, 20(8): 1747.