集成双光栅干涉微梁位移测量方法

冯金扬; 叶雄英; 陈烽; 商院芳

doi:doi:10.3788/ope.20122008.1747

光学精密工程, 2012, 20 (8): 1747, 网络出版: 2012-09-04

集成双光栅干涉微梁位移测量方法

Interferometric displacement measurement of microcantilevers based on integrated dual gratings

冯金扬 ^*叶雄英陈烽商院芳

作者单位

清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京 100084

补充材料

冯金扬, 叶雄英, 陈烽, 商院芳. 集成双光栅干涉微梁位移测量方法[J]. 光学精密工程, 2012, 20(8): 1747. FENG Jin-yang, YE Xiong-ying, CHEN Feng, SHANG Yuan-fang. Interferometric displacement measurement of microcantilevers based on integrated dual gratings[J]. Optics and Precision Engineering, 2012, 20(8): 1747.