NLDMOS器件性能优化及分析

李维杰; 王兴; 王云峰; 李洋; 孟丽华

doi:doi:10.16818/j.issn1001-5868.2020.01.021

半导体光电, 2020, 41 (1): 99, 网络出版: 2020-04-13

NLDMOS器件性能优化及分析

Performance Optimization and Analysis of NLDMOS Devices

李维杰 ^1,*王兴 ²王云峰 ¹李洋 ²孟丽华 ²

作者单位

¹ 中国科学院大学微电子学院, 北京 100029

² 中芯国际集成电路制造有限公司, 天津 300385

补充材料

李维杰, 王兴, 王云峰, 李洋, 孟丽华. NLDMOS器件性能优化及分析[J]. 半导体光电, 2020, 41(1): 99. LI Weijie, WANG Xing, WANG Yunfeng, LI Yang, MENG Lihua. Performance Optimization and Analysis of NLDMOS Devices[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2020, 41(1): 99.