折射型红外微透镜阵列器件的发展及制备

刘丰; 张帆; 边浩; 杨青; 李敏静; 陈烽

doi:doi:10.3788/LOP57.071607

激光与光电子学进展, 2020, 57 (7): 071607, 网络出版: 2020-03-31

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Development and Preparation of Refractive Infrared Microlens Array Device

刘丰 ^1,2张帆 ^1,2边浩 ^1,2杨青 ^1,3李敏静 ^1,3陈烽 ^1,2,*

作者单位

¹ 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西西安 710049

² 西安交通大学电子与信息工程学院陕西省信息光子技术重点实验室, 陕西西安 710049

³ 西安交通大学机械工程学院, 陕西西安 710049

补充材料

刘丰, 张帆, 边浩, 杨青, 李敏静, 陈烽. 折射型红外微透镜阵列器件的发展及制备[J]. 激光与光电子学进展, 2020, 57(7): 071607. Feng Liu, Fan Zhang, Hao Bian, Qing Yang, Minjing Li, Feng Chen. Development and Preparation of Refractive Infrared Microlens Array Device[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2020, 57(7): 071607.