中国激光, 2019, 46 (9): 0904001, 网络出版: 2019-09-10
Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析 
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Assembly Error Tolerance of Interferometer Plate in Mirau Interference-Microscope Objective
基本信息
| DOI: | 10.3788/CJL201946.0904001 |
| 中图分类号: | O436 |
| 栏目: | 测量与计量 |
| 项目基金: | 国家重大仪器专项、中央高校基本科研业务专项、 |
| 收稿日期: | 2019-03-07 |
| 修改稿日期: | 2019-04-28 |
| 网络出版日期: | 2019-09-10 |
| 通讯作者: | 高志山 (zhishgao@njust.edu.cn) |
| 备注: | -- |
胡捷, 袁群, 于颢彪, 王帅, 孙一峰, 高志山. Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析[J]. 中国激光, 2019, 46(9): 0904001. Hu Jie, Yuan Qun, Yu Haobiao, Wang Shuai, Sun Yifeng, Gao Zhishan. Assembly Error Tolerance of Interferometer Plate in Mirau Interference-Microscope Objective[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(9): 0904001.
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