Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析

胡捷; 袁群; 于颢彪; 王帅; 孙一峰; 高志山

doi:doi:10.3788/CJL201946.0904001

中国激光, 2019, 46 (9): 0904001, 网络出版: 2019-09-10

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Assembly Error Tolerance of Interferometer Plate in Mirau Interference-Microscope Objective

胡捷袁群于颢彪王帅孙一峰高志山 ^*

作者单位

南京理工大学电子工程与光电技术学院, 江苏南京 210094

补充材料

胡捷, 袁群, 于颢彪, 王帅, 孙一峰, 高志山. Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析[J]. 中国激光, 2019, 46(9): 0904001. Hu Jie, Yuan Qun, Yu Haobiao, Wang Shuai, Sun Yifeng, Gao Zhishan. Assembly Error Tolerance of Interferometer Plate in Mirau Interference-Microscope Objective[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(9): 0904001.