中国激光, 2019, 46 (9): 0904001, 网络出版: 2019-09-10 复制并引用该论文  被引通知

图 & 表

图 1. 白光干涉仪及Mirau型干涉显微物镜的干涉成像光路

Fig. 1. Interferometric imaging optical path of white light interferometer and Mirau interference-microscope objective

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图 2. 参考板倾斜时干涉显微物镜的等效光路。(a)干涉显微物镜剖面光路图;(b)干涉显微物镜光瞳面俯视图;(c)光瞳面内S区域划分

Fig. 2. Equivalent optical path of interference-microscope objective with titled reference plate. (a) Sectional optical path of interference- microscope objective; (b) top view of pupil plane in interference-microscope objective; (c) division of S region in pupil plane

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图 3. 参考板倾角θ与旋转角度α的关系

Fig. 3. Relationship between tilt of reference plate θ and rotation angle α

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图 4. 参考板倾斜时干涉光路图

Fig. 4. Interferometric optical path with tilted reference plate

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图 5. LED光源光谱分布

Fig. 5. Spectral distribution of LED light source

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图 6. 不同倾斜角度下的干涉条纹。(a) θ0=0°;(b) θ0=0.5°;(c) θ0=1°;(d) θ0=1.5°;(e) θ0=2°

Fig. 6. Interference fringes under different tilts. (a) θ0=0°; (b) θ0=0.5°; (c) θ0=1°; (d) θ0=1.5°; (e) θ0=2°

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图 7. 形貌复原结果对比。(a)原始形貌;(b)不同倾斜角度下的复原误差

Fig. 7. Comparison of morphology reconstruction results. (a) Primary morphology; (b) reconstruction errors under different tilts

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图 8. 台阶板测量结果。(a)标准台阶板信息;(b) Veeco NT9100轮廓仪对标准台阶板的测量结果

Fig. 8. Measured results of step. (a) Information of standard step; (b) measured results of standard step by Veeco NT9100 profilometer

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图 9. 不同的参考板倾斜度所对应的干涉条纹及包络幅值。(a) θ0=0°;(b) θ0=0.5°;(c) θ0=1°;(d) θ0=1.5°;(e) θ0=2°

Fig. 9. Interference fringes and envelope amplitudes corresponding to different tilts of reference plate. (a) θ0=0°; (b) θ0=0.5°; (c) θ0=1°; (d) θ0=1.5°; (e) θ0=2°

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表 1不同倾斜度的标准台阶板高度测量值

Table1. Measured height values of standard step under different tilts

θ0 /(°) Measured height value /nm 0 90.58±3.28 0.5 90.65±3.41 1 90.72±3.56 1.5 90.78±3.82 2 91.02±4.86

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胡捷, 袁群, 于颢彪, 王帅, 孙一峰, 高志山. Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析[J]. 中国激光, 2019, 46(9): 0904001. Hu Jie, Yuan Qun, Yu Haobiao, Wang Shuai, Sun Yifeng, Gao Zhishan. Assembly Error Tolerance of Interferometer Plate in Mirau Interference-Microscope Objective[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 46(9): 0904001.