光学学报, 2007, 27 (6): 1031, 网络出版: 2007-06-08
光学元件表面缺陷的显微散射暗场成像及数字化评价系统
Microscopic Dark-Field Scattering Imaging and Digitalization Evaluation System of Defects on Optical Devices Precision Surface
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TH741.8 |
| 栏目: | 仪器，测量与计量 |
| 项目基金: | 国家自然基金联合基金(10476026)资助课题。 |
| 收稿日期: | 2006-08-08 |
| 修改稿日期: | 2006-10-23 |
| 网络出版日期: | 2007-06-08 |
| 通讯作者: | 杨甬英 (chuyyy@hzcnc.com) |
| 备注: | -- |
杨甬英, 陆春华, 梁蛟, 刘东, 杨李茗, 李瑞洁. 光学元件表面缺陷的显微散射暗场成像及数字化评价系统[J]. 光学学报, 2007, 27(6): 1031. 杨甬英, 陆春华, 梁蛟, 刘东, 杨李茗, 李瑞洁. Microscopic Dark-Field Scattering Imaging and Digitalization Evaluation System of Defects on Optical Devices Precision Surface[J]. Acta Optica Sinica, 2007, 27(6): 1031.
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