光学元件表面缺陷的显微散射暗场成像及数字化评价系统

杨甬英; 陆春华; 梁蛟; 刘东; 杨李茗; 李瑞洁

光学学报, 2007, 27 (6): 1031, 网络出版: 2007-06-08

光学元件表面缺陷的显微散射暗场成像及数字化评价系统

Microscopic Dark-Field Scattering Imaging and Digitalization Evaluation System of Defects on Optical Devices Precision Surface

杨甬英 ^1,*陆春华 ¹梁蛟 ¹刘东 ¹杨李茗 ²李瑞洁 ²

作者单位

¹ 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 杭州 310027

² 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 绵阳 621000

补充材料

杨甬英, 陆春华, 梁蛟, 刘东, 杨李茗, 李瑞洁. 光学元件表面缺陷的显微散射暗场成像及数字化评价系统[J]. 光学学报, 2007, 27(6): 1031. 杨甬英, 陆春华, 梁蛟, 刘东, 杨李茗, 李瑞洁. Microscopic Dark-Field Scattering Imaging and Digitalization Evaluation System of Defects on Optical Devices Precision Surface[J]. Acta Optica Sinica, 2007, 27(6): 1031.