应用激光, 2018, 38 (1): 81, 网络出版: 2018-05-03   

飞秒激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究

Study on Technology and Quality of Etching Copper Clad Laminate with Femtosecond Laser
作者单位
苏州大学机电工程学院, 江苏 苏州 215021
引用该论文

施克明, 王明娣, 陈添禹, 刘凯, 陈磊. 飞秒激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究[J]. 应用激光, 2018, 38(1): 81.

Shi Keming, Wang Mingdi, Chen Tianyu, Liu Kai, Chen Lei. Study on Technology and Quality of Etching Copper Clad Laminate with Femtosecond Laser[J]. APPLIED LASER, 2018, 38(1): 81.

引用列表
1、 双激光刻蚀与清洗挠性覆铜板工艺及质量研究激光与光电子学进展, 2023, 60 (17): 1714005
2、 面齿轮飞秒激光精修工艺参数优化实验研究中国激光, 2022, 49 (16): 1602012
4、 基于飞秒激光的覆铜板刻蚀工艺光学学报, 2019, 39 (12): 1214003

施克明, 王明娣, 陈添禹, 刘凯, 陈磊. 飞秒激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究[J]. 应用激光, 2018, 38(1): 81. Shi Keming, Wang Mingdi, Chen Tianyu, Liu Kai, Chen Lei. Study on Technology and Quality of Etching Copper Clad Laminate with Femtosecond Laser[J]. APPLIED LASER, 2018, 38(1): 81.

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