应用激光, 2018, 38 (1): 81, 网络出版: 2018-05-03
飞秒激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究
Study on Technology and Quality of Etching Copper Clad Laminate with Femtosecond Laser
基本信息
| DOI: | 10.14128/j.cnki.al.20183801.081 |
| 中图分类号: | O439 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(项目编号: 51675360)、 江苏省自然科学基金资助项目(项目编号: BK20151194)、 江苏省精密与微细制造技术开放基金资助项目、 宁波市产业技术创新重大科技专项资助项目(项目编号: 2015B11036) |
| 收稿日期: | 2017-09-04 |
| 修改稿日期: | 2017-10-25 |
| 网络出版日期: | 2018-05-03 |
| 通讯作者: | 施克明 (1035797023@qq.com) |
| 备注: | -- |
施克明, 王明娣, 陈添禹, 刘凯, 陈磊. 飞秒激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究[J]. 应用激光, 2018, 38(1): 81. Shi Keming, Wang Mingdi, Chen Tianyu, Liu Kai, Chen Lei. Study on Technology and Quality of Etching Copper Clad Laminate with Femtosecond Laser[J]. APPLIED LASER, 2018, 38(1): 81.
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