光学 精密工程, 2017, 25 (6): 1567, 网络出版: 2017-07-10
敞开式离子源和微型气泵集成的微型针-柱放电结构芯片设计与实验分析
Design and experiment analysis for micro needle-cylinder discharge chip integrated by open-type ion source and micro pump
基本信息
| DOI: | 10.3788/ope.20172506.1567 |
| 中图分类号: | TH83 |
| 栏目: | 微纳技术与精密机械 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金青年基金项目(No.61204120)、 广西自然科学基金面上项目(No.2015GXNSFAA139304)、 广西自然科学基金青年基金项目(No.2013GXNSFBA019273)、 国家级大学生创新项目(No.XY290406)、 广西高等教育教学改革工程项目(No.2014GJB144)、 广西自动检测技术与仪器重点实验室基金项目(No.YQ15114)、 广西信息科学实验中心资助项目(No.YB1420)、 桂林电子科技大学研究生教育创新计划资助项目(No.2017YJCX86)、 广西物联网技术及产业化推进协同创新中心资助项目(No.WLW20060503,No.WLW20060504) |
| 收稿日期: | 2016-10-24 |
| 修改稿日期: | 2017-01-16 |
| 网络出版日期: | 2017-07-10 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
李华, 郭超群, 蒋林秀, 蒋永荣, 朱健铭, 肖文香, 韦宛伶, 陈真诚. 敞开式离子源和微型气泵集成的微型针-柱放电结构芯片设计与实验分析[J]. 光学 精密工程, 2017, 25(6): 1567. LI Hua, GUO Chao-qun, JIANG Lin-xiu, JIANG Yong-rong, ZHU Jian-ming, XIAO Wen-xiang, WEI Wan-ling, CHEN Zhen-cheng. Design and experiment analysis for micro needle-cylinder discharge chip integrated by open-type ion source and micro pump[J]. Optics and Precision Engineering, 2017, 25(6): 1567.
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