光学 精密工程, 2018, 26 (5): 1275, 网络出版: 2018-08-14
基于多图像融合的MEMS显微三维形貌重构
Three-dimensional microscopic reconstruction of MEMS based on multi image fusion
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20182605.1275 |
中图分类号: | TP391.41;TH742 |
栏目: | 信息科学 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(No.61301190, No.61377109, No.61475018) |
收稿日期: | 2017-09-11 |
修改稿日期: | 2017-11-10 |
网络出版日期: | 2018-08-14 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
丁汛, 赵跃进, 丁玉奎. 基于多图像融合的MEMS显微三维形貌重构[J]. 光学 精密工程, 2018, 26(5): 1275. DING Xun, ZHAO Yue-jin, DING Yu-kui. Three-dimensional microscopic reconstruction of MEMS based on multi image fusion[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(5): 1275.