光学 精密工程, 2018, 26 (5): 1275, 网络出版: 2018-08-14   

基于多图像融合的MEMS显微三维形貌重构

Three-dimensional microscopic reconstruction of MEMS based on multi image fusion
作者单位
1 北京理工大学 光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室, 北京 100081
2 北京圣非凡电子系统技术开发有限公司, 北京 102200
3 陆军工程大学 石家庄校区, 河北 石家庄 050003
基本信息
DOI: 10.3788/ope.20182605.1275
中图分类号: TP391.41;TH742
栏目: 信息科学
项目基金: 国家自然科学基金资助项目(No.61301190, No.61377109, No.61475018)
收稿日期: 2017-09-11
修改稿日期: 2017-11-10
网络出版日期: 2018-08-14
通讯作者:
备注: --

丁汛, 赵跃进, 丁玉奎. 基于多图像融合的MEMS显微三维形貌重构[J]. 光学 精密工程, 2018, 26(5): 1275. DING Xun, ZHAO Yue-jin, DING Yu-kui. Three-dimensional microscopic reconstruction of MEMS based on multi image fusion[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(5): 1275.

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