基于多图像融合的MEMS显微三维形貌重构

丁汛; 赵跃进; 丁玉奎

doi:doi:10.3788/ope.20182605.1275

光学精密工程, 2018, 26 (5): 1275, 网络出版: 2018-08-14

基于多图像融合的MEMS显微三维形貌重构

Three-dimensional microscopic reconstruction of MEMS based on multi image fusion

丁汛 ^1,2赵跃进 ¹丁玉奎 ³

作者单位

¹ 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室, 北京 100081

² 北京圣非凡电子系统技术开发有限公司, 北京 102200

³ 陆军工程大学石家庄校区, 河北石家庄 050003

补充材料

丁汛, 赵跃进, 丁玉奎. 基于多图像融合的MEMS显微三维形貌重构[J]. 光学精密工程, 2018, 26(5): 1275. DING Xun, ZHAO Yue-jin, DING Yu-kui. Three-dimensional microscopic reconstruction of MEMS based on multi image fusion[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(5): 1275.