KDP晶体元件晶轴角度的精密校正 
下载： 905次
Precise Correction for Crystal Axis Angle of KDP Crystal Element
中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 成都 610000
图 & 表
图 1. 晶轴角度示意图
Fig. 1. Schematic of crystal axis angle
下载图片 查看原文
图 2. 金刚石切削原理示意图
Fig. 2. Schematic of diamond cutting principle
下载图片 查看原文
图 3. 晶轴角度误差调节程序框图
Fig. 3. Program block diagram of crystal axis angle error adjustment
下载图片 查看原文
图 4. 晶轴角度误差在位检测原理
Fig. 4. Principle of in-situ measuring of crystal axis angle error
下载图片 查看原文
图 5. 数据处理
Fig. 5. Data processing
下载图片 查看原文
图 6. 定点漂移
Fig. 6. In-situ drift
下载图片 查看原文
图 7. 吸盘角度调节工装。(a)实物照片;(b)操作界面;(c)不同调节量的误差值;(d)回零误差
Fig. 7. Sucker angle adjustment tool. (a) Physical photograph; (b) operating interface; (c) error of different adjustment values; (d) home error
下载图片 查看原文
图 8. 晶轴校正过程
Fig. 8. Crystal axis correction procedure
下载图片 查看原文
图 9. 1#样件在位检测晶体表面结果。(a)切削前;(b)切削后
Fig. 9. In-situ testing results of crystal surface of sample 1#. (a) Before cutting; (b) after cutting
下载图片 查看原文
图 10. 1#样件校正后两面夹角
Fig. 10. Angle between two surfaces of sample 1# after correction
下载图片 查看原文
图 11. 1#样件检测结果
Fig. 11. Test result of sample 1#
下载图片 查看原文
图 12. 校正误差与元件口径的关系
Fig. 12. Relationship between calibration error and element aperture
下载图片 查看原文
表 1样件信息
Table1. Sample information
| Sample | Type | Thickness /mm | Crystal axis angle error /μrad |
|---|
| 1# | Third harmonic generation crystal | 14.4 | +3811.5 | | 2# | Third harmonic generation crystal | 14.4 | +2143.7 | | 3# | Second harmonic generation crystal | 14.7 | +3878.0 |
|
查看原文
表 2LK-G10型激光位移传感器的技术指标
Table2. Technical specification of LK-G10 type laser displacement sensor
| Parameter | Value |
|---|
| Measurement range/mm | -1-1 | | Linearity error /μm | 0.6 | | Repeatability precision /μm | 0.01 |
|
查看原文
表 33件样件在迭代过程中的相关参数
Table3. Relevant parameters of three sample pieces during the iteration unit: μrad
| Iteration turn | 1# | 2# | 3# |
|---|
| Adjustmentvalue | Deviationvalue | Adjustmentvalue | Deviationvalue | Adjustmentvalue | Deviationvalue |
|---|
| 1 | -3871.46 | -59.96 | -2172.57 | -28.87 | -3887.94 | -9.94 | | 2 | -3805.77 | 5.73 | -2143.81 | -0.11 | -3884.91 | -6.91 | | 3 | -3811.58 | -0.08 | -2143.63 | 0.07 | -3878.04 | -0.04 |
|
查看原文
张帅, 金波佳, 王翔峰, 雷向阳, 王健, 许乔. KDP晶体元件晶轴角度的精密校正[J]. 中国激光, 2021, 48(9): 0901006. Shuai Zhang, Bojia Jin, Xiangfeng Wang, Xiangyang Lei, Jian Wang, Qiao Xu. Precise Correction for Crystal Axis Angle of KDP Crystal Element[J]. Chinese Journal of Lasers, 2021, 48(9): 0901006.
PDF全文
