半导体光电, 2018, 39 (1): 100, 网络出版: 2018-08-30
激光斜入射角度对衍射对刀精度的影响
Influence of Laser Oblique Incidence Angle on the Accuracy of Diffraction Tool Setting
基本信息
| DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2018.01.021 |
| 中图分类号: | TH16 |
| 栏目: | 光电系统 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金项目(51405031, 51575075)、 吉林省科技厅计划项目(20150204059GX, 20170101124JC) |
| 收稿日期: | 2017-06-13 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2018-08-30 |
| 通讯作者: | 石广丰 (shiguangfeng@cust.edu.cn) |
| 备注: | -- |
石广丰, 张玉石, 王金雨, 史国权. 激光斜入射角度对衍射对刀精度的影响[J]. 半导体光电, 2018, 39(1): 100. SHI Guangfeng, ZHANG Yushi, WANG Jinyu, SHI Guoquan. Influence of Laser Oblique Incidence Angle on the Accuracy of Diffraction Tool Setting[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2018, 39(1): 100.
PDF全文
