激光斜入射角度对衍射对刀精度的影响

石广丰; 张玉石; 王金雨; 史国权

doi:doi:10.16818/j.issn1001-5868.2018.01.021

半导体光电, 2018, 39 (1): 100, 网络出版: 2018-08-30

激光斜入射角度对衍射对刀精度的影响

Influence of Laser Oblique Incidence Angle on the Accuracy of Diffraction Tool Setting

石广丰 ^*张玉石王金雨史国权

作者单位

长春理工大学机电工程学院, 长春 130022

图 & 表

石广丰, 张玉石, 王金雨, 史国权. 激光斜入射角度对衍射对刀精度的影响[J]. 半导体光电, 2018, 39(1): 100. SHI Guangfeng, ZHANG Yushi, WANG Jinyu, SHI Guoquan. Influence of Laser Oblique Incidence Angle on the Accuracy of Diffraction Tool Setting[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2018, 39(1): 100.