制备工艺对ITO薄膜的光电特性影响研究

肖和平; 王宇; 郭冠军

光学与光电技术, 2017, 15 (5): 85, 网络出版: 2017-11-07

制备工艺对ITO薄膜的光电特性影响研究

Optical and Electrical Properties of ITO Films by Process

肖和平 ^*王宇郭冠军

作者单位

扬州乾照光电有限公司, 江苏扬州 225101

补充材料

肖和平, 王宇, 郭冠军. 制备工艺对ITO薄膜的光电特性影响研究[J]. 光学与光电技术, 2017, 15(5): 85. XIAO He-ping, WANG Yu, GUO Guan-jun. Optical and Electrical Properties of ITO Films by Process[J]. OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY, 2017, 15(5): 85.