半导体光电, 2011, 32 (5): 650, 网络出版: 2011-11-09
表面处理对AlGaN欧姆接触的影响及机理
Influence and Mechanism of Surface Treatment on Ohmic Contacts to AlGaN Surface
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TN305.2 |
栏目: | 材料、结构及工艺 |
项目基金: | 国家自然科学基金项目(51002085) |
收稿日期: | 2011-05-23 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2011-11-09 |
通讯作者: | 王磊 (wangleiicy@163.com) |
备注: | -- |
王磊, 王嘉星, 汪莱, 郝智彪, 罗毅. 表面处理对AlGaN欧姆接触的影响及机理[J]. 半导体光电, 2011, 32(5): 650. WANG Lei, WANG Jiaxing, WANG Lai, HAO Zhibiao, LUO Yi. Influence and Mechanism of Surface Treatment on Ohmic Contacts to AlGaN Surface[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2011, 32(5): 650.