1 南京大学固体微结构物理国家重点实验室
2 南京大学现代工程与应用科学学院，南京 210093
表面等离激元结构色是一种由可见光与金属微纳结构相互作用而产生的颜色。为了分析不同金属微纳结构对可见光特性的调控特性，本文选取了几种典型结构包括纳米光栅，亚波长孔阵列及多层堆叠结构，探究了其选频机理以及滤色效果。本文主要介绍了近几年来相关领域的最新发展成果，并对不同器件的应用范围，现存问题以及发展趋势做出了评述。表面等离激元结构色微纳器件优秀的滤波特性以及良好的电学响应，使其在超高分辨率显示和远程实时光调控等领域具备重大潜力。
表面等离激元 可见光滤波 微纳加工 金属微结构 plasmonics color filtering nanofabrication metallic nanostructures
清华大学 电子工程系 清华信息科学与技术国家实验室(筹)/集成光电子学国家重点实验室， 北京 100084
制备了薄p型层GaN基pin型紫外探测器，并对其反向漏电特性进行了研究。探测器材料采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上外延生长获得，pGaN的厚度为30nm。基于该材料制作了具有共面电极的探测器器件，并采用SiO2对刻蚀侧壁进行了钝化。测试结果表明，结面积为1.825×10-4cm2的器件在-1V时的反向漏电流面密度为3.0×10-9A/cm2，优质因子达到3.7×109Ω·cm2。
紫外探测器 优质因子 反向漏电 GaN GaN p-i-n pin ultraviolet photodiode zerobiased resistance area product leakage current
清华大学 电子工程系，清华信息科学与技术国家实验室(筹)，北京100084
研究了溶液表面处理对AlGaN欧姆接触的影响及机理。用氟硝酸（HNO3+HF）、稀盐酸（HCl）和硫代乙酰胺（CS3CSNH2）溶液处理AlGaN表面后，Ti/Al/Ti/Au电极的比接触电阻率有显著的降低。样品表面Ga3d与O1s的X射线光电子能谱（XPS）测试结果显示：氧元素含量明显降低，表明这三种溶液可以有效地去除AlGaN表面氧化层，其中CS3CSNH2效果最佳；Ga3d峰位在表面处理后发生蓝移现象，相当于AlGaN表面处的费米能级向导带一侧移动，使电子在隧穿过程中的有效势垒高度降低。以上两个因素均对优化AlGaN/GaN欧姆接触有十分重要的意义。
AlGaN/GaN异质结 表面处理 欧姆接触 XPS能谱 AlGaN/GaN heterostructure surface treatment ohmic contacts XPS spectra
