半导体光电, 2011, 32 (5): 650, 网络出版: 2011-11-09  

表面处理对AlGaN欧姆接触的影响及机理

Influence and Mechanism of Surface Treatment on Ohmic Contacts to AlGaN Surface
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清华大学 电子工程系,清华信息科学与技术国家实验室(筹),北京100084
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王磊, 王嘉星, 汪莱, 郝智彪, 罗毅. 表面处理对AlGaN欧姆接触的影响及机理[J]. 半导体光电, 2011, 32(5): 650. WANG Lei, WANG Jiaxing, WANG Lai, HAO Zhibiao, LUO Yi. Influence and Mechanism of Surface Treatment on Ohmic Contacts to AlGaN Surface[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2011, 32(5): 650.

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