光学学报, 2018, 38 (4): 0412002, 网络出版: 2018-07-10   

多步相移中被测件径向相移不均匀引入误差比较及校正 下载: 930次

Comparison and Correction of Errors Caused by Radial Phase-Shifting Nonuniformity of Test Optics in Multi-Step Phase-Shifting
作者单位
1 西安工业大学光电工程学院, 陕西 西安 710032
2 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室, 陕西 西安 710049
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高芬, 倪晋平, 李兵, 田爱玲. 多步相移中被测件径向相移不均匀引入误差比较及校正[J]. 光学学报, 2018, 38(4): 0412002. Fen Gao, Jinping Ni, Bing Li, Ailing Tian. Comparison and Correction of Errors Caused by Radial Phase-Shifting Nonuniformity of Test Optics in Multi-Step Phase-Shifting[J]. Acta Optica Sinica, 2018, 38(4): 0412002.

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