1.064 μm红外皮秒激光器远紫外石英玻璃精密划线工艺研究

李勇; 曾令慧

doi:doi:10.14128/j.cnki.al.20153504.488

应用激光, 2015, 35 (4): 488, 网络出版: 2015-12-18

1.064 μm红外皮秒激光器远紫外石英玻璃精密划线工艺研究

Research of Far UV Quarts Glass Precise Scribing by 1.064 μm Picosecond Laser

李勇 ^1,2,*曾令慧 ^1,2

作者单位

¹ 武汉软件工程职业学院, 湖北武汉 430074

² 武汉软件工程职业学院激光应用技术研究所, 湖北武汉 430074

图 & 表

李勇, 曾令慧. 1.064 μm红外皮秒激光器远紫外石英玻璃精密划线工艺研究[J]. 应用激光, 2015, 35(4): 488. Li Yong, Zeng Linghui. Research of Far UV Quarts Glass Precise Scribing by 1.064 μm Picosecond Laser[J]. APPLIED LASER, 2015, 35(4): 488.