1.064 μm红外皮秒激光器远紫外石英玻璃精密划线工艺研究
[1] 付国柱．玻璃的激光切割技术[J]．光机电信息, 2008(3): 5-11．
[2] 焦俊科, 王新兵, 李又平．激光切割玻璃的研究进展[J]．玻璃, 2007(4): 8-11．
[3] 杨立军, 王懋露, 等．应用裂纹控制法的钠钙玻璃YAG激光切割技术[J]．红外与激光工程, 2010, 39(3): 512-515．
[4] 汪旭煌, 姚建华, 周国斌, 等．基于热裂法的液晶玻璃基板激光切割技术研究[J]．激光技术, 2011, 35(4): 472-476．
[5] 叶圣麟, 马军山, 黄鑫, 等．液晶显示玻璃基板激光切割的热应力场有限元仿真[J]．应用激光, 2006, 26(4): 267-271．
[6] 李迎霞．采用双光束CO2激光的玻璃切割技术[D]．武汉: 华中科技大学, 2006．
[7] 姜超, 胡少六, 王又青．准分子激光精密加工陶瓷, 玻璃等脆性材料的研究[J]．中国激光, 2002, 29(6): 575-578.
[8] 李晓龙．玻璃的紫外激光精密切割技术研究[D]．烟台: 烟台大学, 2012．
[9] BERNHARD KLIMT．Micromachining with industrial picosecond lasers[J]．Laser Micro Machining, 2007(1): 244-253.
[10] INNOCENZI M E, SWIMM R T．Room-temperature optical absorption in undoped α-Al2O3[J]．J. Appl. Phys., 1990, 67(12): 7542-7546.
[11] 袁明权, 凌宏芝, 彭勃.石英玻璃薄板激光精密切割技术[J]．激光技术, 2006, 30(4): 406-408．
[12] 侯廉平, 陈清明．射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究[J]．佛山陶瓷, 2002, 67(11): 3-7．
[13] KUO YENLIANG, LIN JEHNMING．Laser cleaving on glass sheets with multiple laser beams[J]．Optics and Laser in Engineering, 2008(46): 388-395．
[14] RALF KNAPPE, ACHIM NEBEL．High-speed micromachining with high-power picoseconds ultraviolet lasers:Proceedings of SPIE[C].[出版地不详]: [出版者不详], 687121-1.
李勇, 曾令慧. 1.064 μm红外皮秒激光器远紫外石英玻璃精密划线工艺研究[J]. 应用激光, 2015, 35(4): 488. Li Yong, Zeng Linghui. Research of Far UV Quarts Glass Precise Scribing by 1.064 μm Picosecond Laser[J]. APPLIED LASER, 2015, 35(4): 488.
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