光子学报
2020, 49(10): 1022001
华中科技大学武汉光电国家研究中心, 湖北 武汉 430074
化学强化玻璃被广泛应用于电子产品屏幕,但很难被切割加工。利用皮秒激光高峰值功率、超短脉冲及贝塞尔光束长焦深的特点,在化学强化玻璃内加工出一个狭长的改性截面,利用强化玻璃本身的应力与皮秒激光诱导的应力,使强化玻璃精准地沿着改性截面自动断开,并获得了切割速度高达400 mm/s,切割面粗糙度为395 nm的切割分离效果。实验结果表明,影响切割速度和质量的主要参数是单脉冲能量和脉冲改性间距。
激光光学 化学强化玻璃 皮秒激光 贝塞尔光束 玻璃切割 中国激光
2019, 46(11): 1102010
沈佳骏 1,2,3,*骆公序 1,2,3潘涌 1,2,3,4刘中俊 1,2,3姜兆华 1,2,3,4
1 上海市激光技术研究所, 上海 200233
2 上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233
3 先进激光应用联合实验室, 上海 200233
4 上海激光直接物标溯源工程技术研究中心, 上海 200233
基于EdgeWave GmbH 532 nm波长的纳秒激光器, 通过改变激光加工参数进行玻璃切割工艺实验, 研究激光工艺参数对玻璃切割效果的影响。实验表明, 通过对电流大小、填充间隔、分层切割和切割速度等激光参数的优化, 能够加工出边缘光滑、无横向微裂、无碎屑的玻璃基片, 获得较好的良品率。
纳秒激光器 532 nm波长 玻璃切割 工艺参数 切割效果 nanosecond lasers 532 nm wavelength glass cutting process parameters cutting effect
1 武汉软件工程职业学院, 湖北 武汉 430074
2 武汉软件工程职业学院激光应用技术研究所, 湖北 武汉 430074
对激光加工石英玻璃精密划线工艺进行了实验研究, 探讨了不同工艺参数对加工效果的影响。使用1.06 μm红外皮秒激光器作为光源, 对厚度为0.4 mm的JGS1-1远紫外石英光学玻璃薄片进行激光划线切割, 在加工速度700 mm/s时, 获得样品正面崩边11.08 μm, 背面崩边7.610 μm, 侧面粗糙度为4 μm 的加工效果。结合实际加工要求, 利用控制变量法分析了光源、占空比、点间距及聚焦光斑等工艺参数对加工效果的影响, 得到一组最佳工艺参数。
皮秒激光 玻璃切割 控制变量法 工艺参数 picosecond laser quarts glass cutting processing researched best parameters
