1 武汉软件工程职业学院, 湖北 武汉 430074
2 武汉软件工程职业学院激光应用技术研究所, 湖北 武汉 430074
对激光加工石英玻璃精密划线工艺进行了实验研究, 探讨了不同工艺参数对加工效果的影响。使用1.06 μm红外皮秒激光器作为光源, 对厚度为0.4 mm的JGS1-1远紫外石英光学玻璃薄片进行激光划线切割, 在加工速度700 mm/s时, 获得样品正面崩边11.08 μm, 背面崩边7.610 μm, 侧面粗糙度为4 μm 的加工效果。结合实际加工要求, 利用控制变量法分析了光源、占空比、点间距及聚焦光斑等工艺参数对加工效果的影响, 得到一组最佳工艺参数。
皮秒激光 玻璃切割 控制变量法 工艺参数 picosecond laser quarts glass cutting processing researched best parameters
