光学学报, 2019, 39 (7): 0712005, 网络出版: 2019-07-16   

基于总散射测量的表面质量检测新方法 下载: 1062次

Method for Surface Quality Inspection Based on Total Scattering Measurement
作者单位
1 四川大学电子信息学院, 四川 成都 610064
2 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
3 超光滑表面无损检测安徽省重点实验室, 合肥知常光电科技有限公司, 安徽 合肥 230031
引用该论文

黄聪, 张科鹏, 王翔, 孙年春, 张彬, 陈坚, 赵建华. 基于总散射测量的表面质量检测新方法[J]. 光学学报, 2019, 39(7): 0712005.

Cong Huang, Kepeng Zhang, Xiang Wang, Nianchun Sun, Bin Zhang, Jian Chen, Jianhua Zhao. Method for Surface Quality Inspection Based on Total Scattering Measurement[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(7): 0712005.

引用列表
1、 非球面光学表面缺陷检测技术现状和发展趋势(特邀)红外与激光工程, 2022, 51 (9): 20220457
4、 表面缺陷的偏振散射表征方法及区分原理光学学报, 2021, 41 (12): 1229001
5、 高反镜表面疵病尺寸对激光散射场分布的影响激光与光电子学进展, 2021, 58 (1): 112001
7、 光学元件的疵病检测及现状光学仪器, 2020, 42 (3): 88

黄聪, 张科鹏, 王翔, 孙年春, 张彬, 陈坚, 赵建华. 基于总散射测量的表面质量检测新方法[J]. 光学学报, 2019, 39(7): 0712005. Cong Huang, Kepeng Zhang, Xiang Wang, Nianchun Sun, Bin Zhang, Jian Chen, Jianhua Zhao. Method for Surface Quality Inspection Based on Total Scattering Measurement[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(7): 0712005.

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