光学 精密工程, 2016, 24 (9): 2134, 网络出版: 2016-11-14
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20162409.2134 |
中图分类号: | TN247;TH744.3 |
栏目: | 现代应用光学 |
项目基金: | 国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.61227901) |
收稿日期: | 2016-01-06 |
修改稿日期: | 2016-02-06 |
网络出版日期: | 2016-11-14 |
通讯作者: | 刘兆武 (zhaowuliu@hotmail.com) |
备注: | -- |
刘兆武, 李文昊, 王敬开, 姜珊, 宋莹, 潘明忠, 巴音贺希格. 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测[J]. 光学 精密工程, 2016, 24(9): 2134. LIU Zhao-wu, LI Wen-hao, WANG Jing-kai, JIANG Shan, SONG Ying, PAN Ming-zhong, Bayanheshig. Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(9): 2134.