光学 精密工程, 2016, 24 (9): 2134, 网络出版: 2016-11-14
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror
补充材料
刘兆武, 李文昊, 王敬开, 姜珊, 宋莹, 潘明忠, 巴音贺希格. 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测[J]. 光学 精密工程, 2016, 24(9): 2134. LIU Zhao-wu, LI Wen-hao, WANG Jing-kai, JIANG Shan, SONG Ying, PAN Ming-zhong, Bayanheshig. Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(9): 2134.