光学学报, 2018, 38 (7): 0711003, 网络出版: 2018-09-05   

标定误差对色散条纹共相误差检测影响的修正 下载: 798次

Correction for Effect of Calibration Error on Accuracy of Co-Phasing Error Detection of Dispersed Fringe
作者单位
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
图 & 表

图 1. 色散条纹图像产生原理

Fig. 1. Production principle of dispersed fringe image

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图 2. MPP法对色散条纹图像的二维信息提取

Fig. 2. Two-dimensional information extraction of dispersed fringe image by the MPP method

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图 3. 色散条纹中心线位置标定误差示意图

Fig. 3. Schematic of the calibration error for the central line position of dispersed fringe image

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图 4. 平移相差对双矩形孔衍射的影响。 (a)等相位差双光束干涉因子; (b)不等相位差双光束干涉因子; (c)无平移相差时单矩孔衍射因子; (d)有平移相差时单矩孔衍射因子; (e)无平移相差时双矩孔衍射一维强度分布; (f)有平移相差时双矩孔衍射一维强度分布; (g)无平移相差时双矩孔衍射二维强度分布; (h)有平移相差时双矩孔衍射二维强度分布

Fig. 4. Effect of piston phase error on the diffraction pattern of double rectangle hole. (a) Double beam interference factor without piston phase error; (b) double beam interference factor with piston phase error; (c) single rectangle hole diffraction factor without piston phase error; (d) single rectangle hole diffraction factor with piston phase error; (e) one-dimensional diffraction pattern of double rectangle hole without piston phase error; (f) one-dimensional diffraction pattern of double rectang

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图 5. 条纹中心线不同时同一峰值位置所对应波长与峰值偏移量的差异

Fig. 5. Difference between the wavelength and the peak offset corresponding to the same peak position when the center line of the fringe is different

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图 6. 旋转角度增大时改进前后MPP法的检测误差

Fig. 6. Detection error before and after the improvement of the MPP method as the rotation angle calibration error increases

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图 7. 平移误差检测实验光路

Fig. 7. Experimental optical path for the detection of piston error

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图 8. 在目标波段内两组平移误差所对应的色散条纹图像。(a) 0.055; (b) 100.055

Fig. 8. Dispersed fringe images corresponding to the two sets of piston error in the target wavelength range. (a) 0.055; (b) 100.055

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表 1平移误差为-20 μm时,不同旋转角下MPP法的检测结果

Table1. Detection results of the MPP method with different rotated angles when the piston error is -20 μm

Rotated angle ε /(°)Detected piston error /μmDetected error /μmRotated angle ε /(°)Detected piston error /μmDetected error /μm
0-19.9960.0040-19.9960.004
0.2-19.6120.388-0.2-20.514-0.514
0.4-18.9751.025-0.4-21.019-1.019
0.6-18.4531.547-0.6-21.539-1.539
0.8-17.9372.063-0.8-22.052-2.052
1-17.4332.567-1-22.556-2.556

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表 2修正前后MPP法的检测精度

Table2. Accuracy of the MPP method before and after correctionμm

Piston errorDetection error before correctionDetection error after correction
0.0550.1670.027
100.0553.6200.423

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张春悦, 徐抒岩, 许博谦, 齐鑫, 鞠国浩. 标定误差对色散条纹共相误差检测影响的修正[J]. 光学学报, 2018, 38(7): 0711003. Chunyue Zhang, Shuyan Xu, Boqian Xu, Xin Qi, Guohao Ju. Correction for Effect of Calibration Error on Accuracy of Co-Phasing Error Detection of Dispersed Fringe[J]. Acta Optica Sinica, 2018, 38(7): 0711003.

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