高精度半导体激光打标机F-θ镜头设计

李圆圆; 王春艳; 王志强

doi:doi:10.5768/JAO202041.0107003

应用光学, 2020, 41 (1): 202, 网络出版: 2021-06-18

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F-θ lens design for high-precision semiconductor laser marking machine

李圆圆王春艳 ^*王志强

作者单位

长春理工大学光电工程学院，吉林长春 130022

图 & 表

图 1. 激光打标原理图

Fig. 1. Schematic diagram of laser marking

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图 2.

Fig. 2. Function curves of y-tanθ and y-θ和函数曲线

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图 3. 系统初始结构数据

Fig. 3. System initial structure data

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图 4. 系统初始像质图

Fig. 4. System initial image quality diagram

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图 5. 初步优化像质图

Fig. 5. Preliminary optimization of image quality diagram

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图 6. 优化后镜头结构以及像质图

Fig. 6. Optimized lens structure and image quality diagram

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表 1不同视场主光线像高数据、 $f' \cdot \tan \theta $像高数据与 $f' \cdot \theta $像高数据

Table1. Main ray actual image height data, $f' \cdot \tan \theta $ image height data and $f' \cdot \theta $ image height data of different fields

视场	Y-chief /mm	\begin{document}$f' \cdot \tan \theta $\end{document} /mm	\begin{document}$f' \cdot \theta $\end{document} /mm
0.3	16.363 7	16.381 9	16.358 5
0.5	27.288 2	27.372 7	27.264 1
0.7	38.235 9	38.469 3	38.169 7
1	54.720 6	55.400 1	54.528 2

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李圆圆, 王春艳, 王志强. 高精度半导体激光打标机F-θ镜头设计[J]. 应用光学, 2020, 41(1): 202. Yuanyuan LI, Chunyan WANG, Zhiqiang WANG. F-θ lens design for high-precision semiconductor laser marking machine[J]. Journal of Applied Optics, 2020, 41(1): 202.

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图 1. 激光打标原理图

Fig. 1. Schematic diagram of laser marking

图 2.

Fig. 2. Function curves of y-tanθ and y-θ和函数曲线

图 3. 系统初始结构数据

Fig. 3. System initial structure data

图 4. 系统初始像质图

Fig. 4. System initial image quality diagram

图 5. 初步优化像质图

Fig. 5. Preliminary optimization of image quality diagram

图 6. 优化后镜头结构以及像质图

Fig. 6. Optimized lens structure and image quality diagram

表 1不同视场主光线像高数据、 $f' \cdot \tan \theta $像高数据与 $f' \cdot \theta $像高数据

Table1. Main ray actual image height data, $f' \cdot \tan \theta $ image height data and $f' \cdot \theta $ image height data of different fields

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图 3. 系统初始结构数据

Fig. 3. System initial structure data

图 4. 系统初始像质图

Fig. 4. System initial image quality diagram

图 5. 初步优化像质图

Fig. 5. Preliminary optimization of image quality diagram

图 6. 优化后镜头结构以及像质图

Fig. 6. Optimized lens structure and image quality diagram

表 1不同视场主光线像高数据、 $f' \cdot \tan \theta $像高数据与 $f' \cdot \theta $像高数据

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