1 乐山师范学院物理与电子工程学院, 四川 乐山 614004
2 四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所, 四川 成都 610064
利用表面等离子体激元（SPP）的局域能量增强效应可提高现有光学光刻的分辨率。背向曝光SPP干涉光刻技术可以大面积制备低成本的纳米周期性结构。理论分析了SPP在背向曝光系统中的共振透射特性，提出了背向曝光SPP干涉光刻系统核心元件银层超透镜的优化设计方法，并利用时域有限差分法和理论解析式模拟计算了背向曝光SPP干涉光场分布，通过优化设计银层超透镜厚度和共振角，实验获得了较好的周期性光刻线条。
表面光学 表面等离波子激元干涉光刻 背向曝光 银层超透镜 光学学报
2011, 31(12): 1222007
