北京科技大学新材料技术研究院，新金属材料国家重点实验室，北京 100083
化学气相沉积(CVD)技术的发展使得金刚石优异的综合性能得以充分发挥，在诸多领域获得应用，并有可能实现跨越式的发展。色心使得金刚石量子加速器初步显示了巨大可行性，包括紫外激光写入窗口等诸多应用场景将金刚石的光、电、热和力学综合优势发挥到了极致，超宽禁带金刚石半导体应用将很快实现，金刚石的散热应用也在不断拓展。本文在总结CVD金刚石的制备方法和性能特点的基础上，根据金刚石的本征特点和应用领域，将其分为量子级、电子级、光学级、热学级和力学级五类，对各类金刚石的研究和应用状况进行了详细阐述，进一步明晰CVD金刚石目前的发展状态，对研判其未来发展趋势有重要意义。
化学气相沉积 金刚石 色心 超宽禁带 散热 超硬材料 chemical vapor deposition diamond color center ultra-wide bandgap heat dissipation superhard material
北京科技大学新材料技术研究院，新金属材料国家重点实验室，北京 100083
从1980年代化学气相沉积(CVD)金刚石膜问世，我国研究人员迅速跟进，在短时间内从国家层面进行布局，“863计划”从1987年启动到2016年落幕。在我国科学技术需要急起直追的年代，“863计划”的实施有力推动了我国CVD金刚石膜技术的进步，直至今天国家重点研发计划仍然在接力支持CVD金刚石在各个领域的应用研究。回顾CVD金刚石三十年的发展历程，对我国科技战略的设计、科技政策的制定、科研计划的落实、科技成果的实施等有重要的借鉴意义。
1 清华大学,工程物理系,北京,100084
2 西北核技术研究所,西安,710024
3 北京科技大学,材料学院,北京,100083
研制出CVD金刚石薄膜探测器,在国家串列加速器和60Co稳态辐射源上分别完成了该探测器对9MeV质子束流和1.25 MeV γ射线的辐照性能研究.结果表明:该探测器在9 MeV质子照射累积强度达到1013cm-2时,探测器信号电荷收集效率减小量低于3.5%,辐照前后探测器暗电流没有明显变化.计算得到9MeV质子对该探测器的损伤系数为1.3×10-16 μm-1·cm2.由于γ射线与金刚石作用产生的电子起到了填补缺陷的作用,探测器信号电荷收集效率随γ射线照射剂量的增加略有增加,在γ射线累积照射量达到10.32C/kg时,其增幅小于0.7%.说明金刚石薄膜探测器具有较高耐辐照强度,适用于高强度辐射测量领域.proton and gamma -ray on CVD diamond detector
金刚石薄膜 半导体探测器 辐照性能 电荷收集效率 辐照损伤系数
1 武汉军械士官学校光电技术研究所,武汉,430074
2 北京科技大学材料工程学院
金刚石膜作为光学镀层时,应力的控制是一项关键技术,本文实验研究了金刚石膜和类金刚石膜作为光学镀层材料时的应力特性,并对此进行了分析.
金刚石膜 光学镀层 diamond film optical coating mpcvd pld MPCVD PLD
