1 西安工业大学陕西省薄膜与光学检测技术重点实验室,陕西 西安 710032
2 Optical Bioimaging Lab, National University of Singapore， Singapore 117574
为了提高大口径光学元件子孔径拼接测量的检测精度，提出一种平面绝对测量技术，修正子孔径拼接过程中产生的系统误差。利用改进的三面互检法获得参考平面的面形数据，采用这些测量数据构建基于Zernike多项式的参考面面形误差修正波面，在拼接过程中运用误差修正波面对获得的子孔径测量数据进行实时修正，并与全口径直接测量结果进行对比，结果PV（peak value，PV,峰谷值）误差从0.072 1 λ减少到0.028 6 λ。结果表明该方法有效减少了参考平面系统误差对拼接测量精度的影响，提高了大口径光学元件的检测精度。
光学测量 子孔径拼接 平面绝对检验 三平面互检 optical measurement sub-aperture stitching plane absolute test three-flat test
1 西安工业大学 陕西省薄膜与光学检测技术重点实验室, 西安 710032
2 Optical Bioimaging Lab, National University of Singapore Singapore 117574
为了提高大口径光学元件面形拼接检测准确度，减少传统子孔径拼接算法带来的误差传递和积累，并在原有全局优化拼接算法的基础上引入权重系数，使全口径内各相邻子孔径之间的重叠区域达到最优匹配，使拼接误差最小化.利用该优化算法对平面进行了多孔径拼接仿真模拟，在此基础上对150mm口径的平面镜进行了实验，并提出基于图像边缘轮廓特征提取的子孔径定位新方法，分析了影响拼接误差的因素.仿真和实验结果均证明了基于权重的全局优化拼接算法的有效性和可行性.
光学面形检测 子孔径拼接 全局优化算法 大口径光学元件 Optical surface shape test Subaperture stitching Global optimization algorithm Largeaperture optical components
