1 天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津300072
2 中国船舶工业系统工程研究院, 北京 100094
3 天津津航技术物理研究所, 天津 300380
光学硬脆材料在机械加工过程中不可避免地形成表面/亚表面损伤, 对器件性能、使用寿命等具有至关重要的影响。相较于磨削、研磨两种前道工艺, 抛光阶段材料的损伤逐渐减少至极其微量的程度, 而最终残留的损伤将伴随材料的使用全周期, 研究抛光阶段表面质量的变化过程对掌握抛光的工艺质量十分必要, 但测量难度高。针对这一问题, 本文在总结抛光阶段损伤形式的基础上, 首先仿真分析了准布儒斯特角法检测表面质量的原理和优势, 随后以Nd∶GGG激光晶体为研究对象, 利用椭偏仪对不同抛光工艺下样品表面质量的变化进行了实验研究。通过与白光干涉法测量的表面形貌进行对比, 准布儒斯特角偏移量和相位角变化曲线斜率准确地反映了抛光过程中表面质量的变化, 展现了该方法的无损伤和高灵敏度特性, 以及辅助研究抛光工艺的可行性。最后, 对准布儒斯特角法在表面质量检测方面面临的问题进行了分析和展望。
光学材料 精密抛光 表面质量 布儒斯特角测量 optical materials precision polishing surface quality Brewster angle measurement
1 中国科学院 电子学研究所, 北京 100190
2 中国科学院 电磁辐射与探测技术重点实验室, 北京 100190
3 中国科学院大学, 北京 100190
提出了一种三维混合域重建算法,该算法在垂直方位向采用空间波数域匹配滤波,结合距离水平方位域后向投影技术完成目标三维重建。与三维波数域算法相比,该算法不仅避免了复杂的三维Stolt插值,还继承了后向投影技术便于处理运动补偿的优点。相比传统的三维时域后向投影算法,该算法通过在垂直方位向的波数域处理,运算量显著减少。通过对0.2 THz波段仿真和实验数据的重建,验证了算法的正确性和有效性。(1. Institute of Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China;2. Key Laboratory of Electromagnetic Radiation and Sensing Technology,Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China;3. University of Chinese Academy of Science, Beijing 100190, China)Abstract:Key words:
混合域算法 后向投影 全息成像 三维成像 太赫兹成像 mixed-domain algorithm back-projection holographic imaging three-dimensional imaging terahertz imaging