西安交通大学 电子与信息工程学院，陕西 西安 710049
飞秒激光微加工作为一种新型微纳制造技术，在复杂三维构型制作方面具有其独特的优势，但激光加工效率问题严重制约了飞秒激光微加工技术走向实际工程应用，提出一种飞秒激光湿法刻蚀微纳制造方法,以提高飞秒激光微加工的效率为突破口，通过调控激光与物质相互作用获得材料的目标靶向改性，进而结合化学湿法刻蚀实现硬质材料上的高效和高精度三维微加工，采用这一方法制作出的微透镜尺寸为80 μm，球冠高67 μm，表面粗糙度小于10 nm。利用这种方法，实现了不同结构与特性的高质量微透镜阵列的超精密制备，在石英内部也实现了螺旋微通道的复杂三维结构，螺旋通道直径为20 μm，长径比超过100。
飞秒激光 微纳制造 湿法刻蚀 微透镜 微通道 femtosecond laser micro- and nano- fabrication wet etch microlens microchannel
