在不改变现有硬件条件的情况下, 开展超分辨扫描重建方法, 可以在不增加系统成本的基础上提高高分辨X射线显微镜的成像性能.设计了基于亚像素扫描的超分辨扫描模式, 按照设计的调制方式进行亚像素位移的移动, 采集多幅具有互补信息的低分辨率图像; 然后基于系统的点扩散函数, 对高分辨率图像进行复原; 最后结合POCS超分辨重建算法重建出高分辨图像.实验结果表明, 10倍光耦探测器下的衬度噪声比提高了20%左右, 空间分辨力提高了0.2 μm(约15%), 细节分辨能力超过探测器像素尺寸1.35 μm的限制, 可以看到在低分辨率图像中看不到的细节.实验说明用超分辨技术提高高分辨X射线显微镜的分辨率是有意义的.

利用矩阵光学方法, 计算得出五角棱镜两种光学平行差的解析表达式, 分析五角棱镜光学平行差与工作面法向矢量夹角的矩阵关系.基于Agilent激光干涉仪角度测量系统和DHC三维转台搭建实验装置, 测量了Thorlabs五角棱镜的两种光学平行差.实验和解析式计算结果偏离度不超过4%.五角棱镜滚动角、偏摆角的变化等效于五角棱镜光学平行差的变化.通过坐标系变换, 五角棱镜的自身误差和系统在线测量误差可以被同时标定.该研究对五角棱镜的实际加工、测量系统标定, 以及高准确度面形检测提供了参考.