范丽莎 1,2,3,4张硕文 1,2,3,4张群莉 1,2,3,4姚建华 1,2,3,4,*
1 浙江工业大学机械工程学院, 浙江 杭州 310023
2 浙江工业大学激光先进制造研究院, 浙江 杭州 310023
3 高端激光制造装备省部共建协同创新中心, 浙江 杭州 310023
4 高端装备激光再制造浙江省工程研究中心, 浙江 杭州 310023
功能氧化物一维有序纳米结构因具有奇特的物理化学特性而在纳米激光器、平板显示器、磁记录器、纳米晶体管等器件设计领域展现出了巨大的应用潜力。精确合成与控制组装功能氧化物一维有序纳米结构是新型纳米器件设计开发的关键。脉冲激光沉积是目前制备氧化物一维有序纳米结构的重要方法之一。本文综述了脉冲激光沉积技术的原理及特点,着重分析了脉冲激光沉积技术制备氧化物一维有序纳米结构的方法和机理,介绍了近年来脉冲激光沉积应用于典型氧化物纳米结构制备的研究进展,最后指出了脉冲激光沉积制备一维有序纳米结构存在的问题,并展望了超快激光在该技术中的应用前景。
激光技术 脉冲激光沉积 功能氧化物 一维有序纳米结构 激光与光电子学进展
2020, 57(19): 190001
