1 长春工业大学,化工学院,吉林,长春,130012
2 天津大学,化工学院,天津,300072
3 中国科学院,长春光机与物理研究所,应用光学国家重点实验室,吉林,长春,130022
采用直流磁控溅射后退火法制备了Y1Ba2Cu3O7-x/Si和Y1Ba2Cu3O7-x/ZrO2/SiO2两种半导体薄膜,对该薄膜进行了红外热辐射响应特性研究.采用X射线衍射、电阻温度系数法、喇曼散射表征手段对薄膜的显微结构进行了详细分析.结果表明,有过渡层的Y1Ba2Cu3O7-x半导体薄膜均匀性好,信噪比高,在红外波段和亚毫米波段甚至毫米波段都有良好的热辐射响应,适于制做非制冷探测器的敏感元.
半导体薄膜 热辐射 Y1Ba2Cu3O7-x Y1Ba2Cu3O7-x Semiconductive thin film Thermal radiation
