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光纤光学与光通信
全硅矩形截面脊形波导的研制及其损耗分析
赵策洲 1刘恩科 2郑玉祥 2杨风丽 2[ ... ]刘志敏 2
作者单位
摘要
1 西安电子科技大学微电子所, 西安 710071
2 西安交通大学电子工程系, 西安 710049
运用有效折射率法和微分法分别对全硅矩形截面脊形波导的模式特性和模吸收损耗系数作了分析.通过乙二胺-邻苯二酚水溶液(EPW)各向异性腐蚀的方法,研制成了矩形截面脊形全硅光波导,并对其损耗特性进行了研究和讨论.
硅 脊形波导 集成光学 吸收损耗 
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光学学报
1994, 14(10): 1054
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