针对用于标定和检测的大型精密转台(要求其定位误差≤±0.5″)，研制了高精度角度微驱动装置。介绍了转台的总体结构，给出了角度微驱动装置的驱动原理和构成。该角度微驱动装置主要通过一个角位移转换机构把精密直线位移转化为精密角位移来实现高的角度分辨率，其在驱动转台旋转的过程中几乎不给转台带来轴向力和径向力，因此不影响转台的轴系精度。为了满足定位要求，转台设计采用了粗精结合、二次定位的方法，即先采用力矩电机进行粗定位，然后使用角度微驱动装置来实现精定位。最后，从理论上计算了角度微驱动装置的分辨率并进行了测试和应用验证，证明此角度微驱动装置的分辨率优于0.08″,满足转台定位精度要求。

在RFID倒扣封装设备研制中，高速倒扣机械手具有很强的非线性和时变特性，线性控制方法难以满足要求，因此本文提出了一种快速辨识算法,采用三阶非线性Volterra模型对机械手进行在线实时辨识。首先，利用不同阶输入向量的结构关系，由低阶输入向量直接构建高阶输入向量。接着，根据不同阶核的相关性从低阶核加速估计高阶核。最后，把线性变步长LMS方法引入到非线性自适应算法中，并用Lyapunov全局稳定理论进行证明。对实际系统的辨识实验表明：与常规方法比较，辨识时间从100 ms缩短为30 ms，辨识速度提高了3.3倍，辨识失调降低了93.3%，同时还具有更高的辨识精度，满足了对非线性系统辨识的精度要求和实时性要求。

全自动COG(chip-on-glass)压接机是集精密机械、图像识别、自动控制、计算机应用、光学、检测、气动等多领域技术于一体的现代化微电子设备,是光机电高度集成化的设备.COG是实现液晶模块的高度集成化、薄型化的新技术.工作原理是通过高温及一定压力使驱动电路芯片与液晶板之间的导电粒子膜(ACF)受到破坏而露出导电粒子,实现驱动芯片与液晶板的牢固连接,从而接通芯片与液晶板线路.采用图像识别系统代替手动对准方式对芯片和晶片位置进行采集,定位,并反馈到控制系统来调整晶片的位置,以提高设备压接精度,缩短压接周期.