压电能量回收装置离不开能量提取电路, 传统标准电路的能量提取效率不高, 而采用同步切换开关的能量提取电路能有效提高了能量提取效率。该文提出采用粘性材料作为自适应机械开关结构的移动电极, 它不需额外的电子器件, 且可自适应悬臂梁的位移幅值, 获得更高功率。分别采用正弦激励和噪声激励对粘性材料的参数进行了分析。结果表明, 激励不同时, 粘性材料的参数选择也不同, 同时还证明了自适应机械开关的性能。

光刻胶经过曝光、显影后的锥角(Taper)和关键尺寸(Develop Inspection Critical Dimension, DICD)是光刻工艺的重要参数。明确影响锥角和DICD的工艺参数, 进而控制锥角和DICD, 这对工艺制程至关重要。本文结合光刻制程, 探究了光刻胶厚度、曝光剂量、Z值、显影时间对锥角和DICD的影响, 并结合蒙特卡罗算法对显影制程进行评估。实验结果表明: 光刻胶厚度每增加1 μm, DICD增加约2.6 μm。同时, 厚度增加会导致光刻胶顶部的锥角逐渐由锐角向钝角演变。曝光剂量每增加10 mJ/s, DICD则减小约0.8 μm, 锥角则呈阈值跳跃式上升趋势。基板在最佳焦平面曝光, DICD和锥角均一性最好。显影时间每增加10 s, DICD下降约0.3 m, 锥角则增加约1.7°。最终, DICD和锥角呈负相关关系, 可以通过调节光刻工艺参数对锥角和DICD进行控制。

土壤有机质（SOM）是植物生长必需的营养物质, 也是土壤属性检测的重要参数。 快速、 高效地获取土壤有机质信息对精细农业的发展具有重要意义。 近红外光谱技术具有快捷、 低成本等优势, 被广泛应用到土壤有机质的测量中, 然而土壤水分在近红外光谱(780～2 500 nm)中具有很强的吸收特性, 对土壤有机质的检测形成了一定的干扰。 分析了50个土样在不同含水率（约17%, 15%, 10%, 5%和干土）下的近红外吸光度谱图特性, 利用水分敏感波段2 210, 1 415和1 929 nm构建了水分修正系数（MDI）, 并在此基础上对不同含水率土样进行了重构, 以消除水分对土壤有机质预测模型的影响。 结果如下: （1）经MDI校正重构后的吸光度谱图与对应的干土土样吸光度谱图相近, 能较好地反映其干土土样的吸光度谱图特性。 （2）采用偏最小二乘（PLS）法建立了干土土样的有机质定量预测模型, 并对重构后的不同含水率土样进行了预测, 其统计参数分别为: 预测相关系数（RP）0.90, 预测标准误差（SEP）0.802和预测均方根误差（RMSEP）1.09; 与原始未经MDI校正的预测结果相比, 相关系数上升了0.032, 预测标准误差降低了0.113, 预测均方根误差降低了0.25。 结果表明, 本研究提出的水分校正算法可以降低水分对土壤有机质预测的干扰, 提高利用干土土样有机质定量预测模型预测不同含水率土样的精度, 可为基于近红外光谱技术的土壤有机质实时测定技术的推广提供理论依据。

在大尺寸液晶显示器的薄膜晶体管(Thin Film Transistor，简称TFT)TFT工艺技术中，Cu正逐步取代Al作为电极材料。与Al电极制程相比，在进行栅极(Gate)制程时Cu容易发生腐蚀，这会降低产品良率。本文结合ADS(Advanced Super Demension Switch)显示模式下0+4掩膜板(mask)技术的Gate刻蚀制程和1+4掩膜版技术Gate光刻胶(Photo Resist，简称PR)剥离制程的Cu腐蚀现象进行分析，结合实验验证，确定Cu腐蚀原因，最终提出改善方案。实验结果表明：0+4mask技术的Gate制程中，ITO刻蚀液所含的HNO3会使MoNb/Cu结构电极的Cu发生电化学腐蚀；将电极结构更改为单Cu层则可以避免电化学腐蚀。在1+4mask技术的PR剥离(Strip)制程中，基板经历的剥离时间长或进行多次剥离或在剥离设备中停留，均会引起Cu腐蚀；增加剥离区间与水区间空气帘(Air Curtain)吹气量、增加TFT基板在过渡区间(H2O与剥离液接触的区间)的传输速度，管控剥离液使用时间等措施可以缓解Cu腐蚀。

Mo/Al/Mo结构金属作为TFT的电极, 刻蚀后的坡度角和关键尺寸差是重要的参数。明确影响坡度角和关键尺寸差的工艺参数, 进而控制坡度角和关键尺寸差, 这对工艺制程至关重要。本文探究了膜层结构、曝光工艺、刻蚀工艺对坡度角和关键尺寸差的影响, 并对刻蚀工艺进行正交试验设计。实验结果表明: Al膜厚每减小60 nm, 坡度角下降约9°, 关键尺寸差增加0.1 μm。曝光工艺中, 显影后烘烤会增加光阻粘附力, 导致关键尺寸差减小0.1 μm , 同时坡度角增加约9°。刻蚀工艺中, 过刻量每增加10%, 坡度角下降3.3°, 关键尺寸差增加0.14 μm; 正交试验结果表明, 对关键尺寸差、刻蚀均一性、坡度角影响因素的重要性顺序是: 液刀流量＞Air Plasma电压＞水刀流量。经上述探究表明, 坡度角和关键尺寸差呈负相关关系, 刻蚀程度增加, 关键尺寸差增加, 而坡度角则减小。可以通过调节工艺参数对坡度角和关键尺寸差进行控制。

针对近红外光谱检测中存在的模型传递问题, 即在某一测试环境或仪器上建立的定性定量预测模型不适用于其他检测环境或仪器所采集的数据, 该研究以土壤有机质为研究对象, 采用FIR算法开展了此方面的研究工作。 首先, 在山西境内不同地方采集了59个壤土土壤样本, 选用ASD公司的FieldSpec3光谱检测仪, 分两批次对土壤样本进行了近红外光谱检测。 第一批测试土样称为“源机样本”为50个, 第二批测试土样称为“目标机样本”为9个; 然后, 随机选取“源机样本”中的41个样本作为校正样本, 其余9个样本作为预测样本, 采用偏最小二乘(PLS)定量预测方法建立了土壤有机质的定量预测模型, 预测样本的预测相关系数为0.961, 预测样本标准差(RMSEP)为0.600%, 预测样本标准偏差(SEP)为0.597%, 说明采用该方法可以很好地预测“源机样本”。 当采用上述模型对9个“目标机样本”进行预测时, 发现其预测相关系数为负值, 表明采用该模型直接对“目标机样本”进行预测是不可行的。 最后, 采用FIR模型传递算法对“目标机样本”进行了处理, 当窗口大小为p=516时预测效果提高, 预测相关系数为0.706, RMSEP为0.662%, SEP为0.430%, 说明FIR可以实现不同测试条件下获得谱图的传递, 实现模型的共享。

采用近红外光谱直接对四种瓶装醋进行检测， 并与比色皿检测方法获得的谱图进行了比较。 结果发现， 两种检测方法获得的谱图在近红外区域有明显差别， 瓶装醋在1 480和1 900 nm附近无吸收峰， 而在1 660 nm附近有一吸收峰， 明显区别于比色皿检测获得的谱图； 瓶装醋检测获得的吸光度最大值不超过4， 而用比色皿所测值约为6， 说明玻璃包装对其检测有一定的影响。 本研究采用一阶导数法来消除此影响， 并用主成分-神经网络方法建立了瓶装醋的定性分析模型， 模型预测精度达到100%， 表明一阶导数可以消除玻璃包装对瓶装醋近红外检测的影响， 实现定性分析的目的。