合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009
根据激光光线聚焦状态不同对应被测面上激光光斑形状不同的特点, 通过引入辅助激光束, 分析了调焦 CCD采集的激光光斑图像信息, 进而根据光斑形状及半径等信息确定被测面对焦状态。针对实验中每隔相同离焦距离采集的一系列光斑图像, 提出了相应的图像处理方案, 以提取所需光斑半径信息, 进而进行光斑半径与离焦量转换。实验结果表明, 光斑半径与离焦量呈线性关系, 最大线性范围灵敏度为 2.342像素 /μm, 最高可实现 0.43.μm分辨率。
激光自动对焦 光斑图像处理 离焦量检测 auto-focus using laser image processing of laser spot defocus value detection
