1 中国科学院上海光学精密机械研究所微纳光电子功能材料实验室，上海 201800
2 中国科学院大学材料科学与光电工程中心，北京 100049
在激光直写光刻系统中，锁焦性能是影响光刻系统曝光均匀性的关键因素之一。研究了压电陶瓷作为光刻系统中的锁焦执行器时的动态响应特性，并对其在极坐标光刻系统中对曝光均匀性的影响作了探索。在探索过程中，发现了压电陶瓷对一般非简谐信号的动态响应结果和其对特征简谐信号的动态响应结果之间的非线性关系，并通过样品曝光实验验证了这个非线性关系的正确性。利用该非线性关系量化计算出了使用该压电陶瓷能够满足锁焦要求的旋转台最高的工作转速，同时指导压电陶瓷生产商针对性地优化了适合本极坐标光刻系统的压电陶瓷的动态响应特性，优化后的压电陶瓷的锁焦能力提高了125.2%。
激光光学 激光直写 像散法 压电陶瓷 离焦量检测 光学学报
2022, 42(19): 1914001
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009
根据激光光线聚焦状态不同对应被测面上激光光斑形状不同的特点, 通过引入辅助激光束, 分析了调焦 CCD采集的激光光斑图像信息, 进而根据光斑形状及半径等信息确定被测面对焦状态。针对实验中每隔相同离焦距离采集的一系列光斑图像, 提出了相应的图像处理方案, 以提取所需光斑半径信息, 进而进行光斑半径与离焦量转换。实验结果表明, 光斑半径与离焦量呈线性关系, 最大线性范围灵敏度为 2.342像素 /μm, 最高可实现 0.43.μm分辨率。
激光自动对焦 光斑图像处理 离焦量检测 auto-focus using laser image processing of laser spot defocus value detection
