1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
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3 海南珠江源高级职业技术学校, 海南 海口 570216
为了满足自适应光学中激光导星系统的要求，根据薄膜理论，选择合适的薄膜材料，采用针式优化算法并建立与膜内电场强度相关的膜系评价函数，优化出满足要求且电场强度分布较低的膜系。通过电子束加热蒸发和离子源辅助沉积制备薄膜。制备的偏振分光膜满足偏振耦合分光系统的使用要求，通过了环境测试并具有较高的激光损伤阈值。
薄膜 偏振分光膜 针式优化 激光损伤阈值 自适应光学
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为了提高临近空间激光通信的信噪比，避免杂散光的干扰，通常采用滤光片对信号进行过滤和采集。针对通信系统滤光片的参数要求，选择合适的薄膜材料，结合制备工艺，对膜系进行设计。采用电子束加热蒸发和离子辅助沉积技术镀制薄膜。采用与膜系评价函数和膜层敏感度相关的数学模型，优化出膜层敏感度较低的膜系，制备的滤光片满足临近空间激光通信链路光学系统的使用要求，并通过了环境测试。
薄膜 滤光膜 膜系设计 膜层敏感度 临近空间通信
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为了提高黄光激光器的信噪比，采用Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料，通过电子枪蒸发及离子辅助沉积技术，利用制备的589、1064、1178、1342 nm波长处分别有特定透射率的干涉截止滤光片对无用光信号进行过滤。在实际镀制过程中，由于沉积工艺条件不同，导致材料折射率的不稳定。另外监控方法易引起误差.通过调整优化工艺参数并调整膜系，有效控制膜厚监控精度，提高了对应波长的光学性能。经过高温、潮湿等恶劣环境测试，该滤光片满足黄光激光器的使用要求。
薄膜 干涉截止滤光片 膜系设计 监控误差 黄光激光器
