作者单位
摘要
1 安徽工业大学 数理科学与工程学院,安徽 马鞍山 243002
2 安徽易芯半导体有限公司,安徽 合肥 231100
表征和测量单晶硅位错密度是检测晶体生长品质和研究位错形成机制的重要参量。基于位错腐蚀坑形貌差异大、背景复杂等非典型性特征,以及传统人工光学显微检测准确度不高、效率低下等问题,提出一种改进的YOLOv5算法检测单晶硅位错腐蚀坑密度分布。在原始的YOLOv5算法基础上引入注意力机制,优化网络结构,加强模型推算能力;进一步通过强化特征融合,提升网络检测精度;优化损失函数增强定位准确率,提升训练速度。实验结果表明:改进后的算法,对两种不同腐蚀液的单晶硅位错腐蚀坑检测精度分别达到93.52%和98.82%,检测平均精确率均值(mAP)能够达到96.17%,帧率(FPS)能够达到47 帧/s,满足实时检测的需求。
位错 缺陷检测 单晶硅 YOLOv5算法 注意力机制 dislocation defect detection monocrystalline silicon YOLOv5 algorithm attention mechanism 
应用光学
2023, 44(5): 1022
作者单位
摘要
安徽工业大学 数理科学与工程学院,安徽 马鞍山 243002
对颗粒物的尺寸检测是生产中重要的环节,使用相机采集图像并处理是常用的非接触检测方法。围绕颗粒物的识别与尺寸检测需求,选用沙粒为检测对象,提出了一种改进颗粒物边界掩膜的Mask R-CNN模型。该模型结合经典的边缘检测技术,并利用深度学习模型预测掩膜,根据边缘分割的结果来得到更高精度的掩膜。使用DenseNet作为检测网络的主干网络,使得整体网络参数量更少,并利用通道注意力机制加强网络的特征提取能力。实验结果表明,改进的网络可以提高检测的精度,且结合图像处理的方式能够改善掩膜尺寸检测的准确度,为颗粒物的工业检测提供了一种有意义的方法。
颗粒物检测 深度学习 图像分割 机器视觉 尺寸分布 particles detection deep learning image segmentation machine vision size distribution 
应用光学
2023, 44(1): 93
作者单位
摘要
安徽工业大学 数理科学与工程学院, 安徽 马鞍山 243032
工业零件的产品检测是保证零件质量合格最重要的环节。传统的接触式检测方法难以满足工业现场高效、高精度等需求, 基于机器视觉的图像测量系统已广泛应用于检测产品的几何参数。非透明物体形成的高对比度图像的测量已经进行了大量的工作, 针对透明物体形成的低对比度图像的研究相对较少。以直角棱镜为对象, 开发了一种用于测量低对比度产品尺寸的图像测量系统。对不同光照强度下采集到的图像进行平均, 得到平滑的图像; 采用限制对比度的直方图均衡化算法增强图像的对比度和使用Zernike矩边缘检测算法确定精确的亚像素边缘。通过多个对比实验验证了改进算法的合理性和优越性。棱镜厚度的平均误差小于0.003mm, 标准偏差小于0.0015mm。提出的方案为相对透明物体的高精度测量领域提供了一种可行性方案。
机器视觉 图像处理 亚像素 尺寸测量 低对比度 machine vision image processing sub-pixel size measurement low-contrast 
光学技术
2022, 48(1): 27
作者单位
摘要
1 安徽工业大学 电气与信息工程学院, 安徽 马鞍山 243002
2 安徽工业大学 数理科学与工程学院, 安徽 马鞍山 243002
3 安徽易芯半导体有限公司, 安徽 合肥 230000
利用单晶炉中特殊结构在硅熔液上的倒影图像目标, 通过图像处理进行高温硅熔体液面变化的非接触式检测。首先比较不同图像分割方法对倒影图像处理的效果, 选取最优图像分割方法处理不同单晶硅液位的倒影图像, 其次采用不同角度、不同尺寸ROI(感兴趣区域)对图像进行分割, 并提取分割后的目标像素面积, 最后利用像素面积变化与对应液位变化之间的比值系数和像素面积变化的标准差相结合的评价函数对图像处理效果进行对比。结果表明, 采用动态局部阈值分割法和大尺寸且垂直于相机视角的ROI对图像进行处理, 使得评价函数值最大, 兼顾了单晶硅液位检测的灵敏度和精密度。
光学测量 单晶硅 液位检测 图像处理 评价函数 optical measurement single crystal silicon level detection image processing ROI ROI evaluation function 
光学技术
2020, 46(5): 562
作者单位
摘要
安徽工业大学数理科学与工程学院, 安徽 马鞍山 243032
基于标量衍射理论,利用相干叠加的方法,研究了可以产生空心焦场的二元环带相位板。推导了各环带半径应满足的解析表达式,通过数值计算研究了环带半径对空心焦场的影响规律。研究结果表明,在焦平面上,相位板环带半径对旁瓣比和最大光强比的影响较大,对空心焦场半径的影响较小,增加环带数能够减小旁瓣比,增大最大光强比。在轴向上,环带数增加并不能增大最大光强比,环带数和环带半径对旁瓣比和最大光强比的影响较大。对于二元环带相位结构,旁瓣比和最大光强比仅取决于环带半径,和数值孔径无关;在焦面上,空心焦场半径和数值孔径成反比,在轴向上,空心焦场半径和数值孔径的平方成反比。
衍射 二元光学 空心焦场 环带相位板 
激光与光电子学进展
2019, 56(7): 070501
莫绪涛 1,2,*刘文耀 1,2王晋疆 1,2
作者单位
摘要
1 天津大学 精密仪器与光电子工程学院
2 光电信息技术科学教育部重点实验室,天津 300072
从大景深成像系统实际所需要的景深、分辨率以及最小调制传递函数MTF响应值出发,本文建立了相位模板的个性化优化设计模型。在设计景深、分辨率范围内,以保证系统的MTF值大于设定的最小MTF响应值为优化限制条件,以不同离焦对应的光学传递函数的Fisher信息的积分作为优化目标函数。对波前编码系统的立方相位模板CPM和指数相位模板EPM进行了几组优化设计。同时,给出了后续的图像复原滤波器表达式。结果表明,得到的个性化相位模板和图像复原的结合,能够满足系统的实际需求,系统总的传递函数接近衍射受限系统的传递函数。
成像系统 大景深 相位模板 优化模型 图像复原 imaging system extended depth of filed phase plate optimization model image restoration 
光电工程
2008, 35(5): 85
作者单位
摘要
天津大学,精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学,教育部重点实验室,天津,300072
在普通光学成像系统中引入相位模板和数字图像复原技术,可以增大系统的景深.本文设计了一种新的由多个等面积环形区域组成的纯相位模板,相邻的环形分区交替补偿高斯物面两侧离焦.同时,基于频域滤波理论和MTF离焦不变性质,给出了相应的不依赖于离焦程度的图像复原滤波器的表达式.系统的MTF曲线、MTF密度图和Spoke图结果表明系统具有大景深特性.通过适当调整模板参量,系统景深可以达到普通光学系统的4倍以上.系统可以应用到生物和医学的显微成像、机器视觉等多个领域.
成像系统 大景深 相位模板 图像复原 
光电工程
2007, 34(12): 129
作者单位
摘要
天津大学,精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学,教育部重点实验室,天津,300072
研制了一种基于CCD成像和数字图像处理技术的宽幅胶片弊病在线检测系统.在红外光源提供均匀照明的条件下,采用两台高分辨率线阵CCD摄像机对运转速度为90 m/min、宽幅为1300 mm的胶片实时成像,利用简化了的平滑去噪和边缘检测算法进行处理,并通过双阈值判据及时发现弊病,保存弊病位置信息和弊病图像.系统检测能力为横向80 μm,纵向500 μm,能够检测出各种典型的弊病.
在线检测 胶片弊病 CCD成像 数字图像处理 
光电工程
2007, 34(4): 77

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