上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海 200093
介绍了一种用于在线检测纳米定位平台的全自动六维纳米测量系统。提出了整波长干涉测量方法, 可以避免激光干涉仪的非线性影响, 使系统能够得到准确校准, 达到纳米级精度。该测量系统可以测定6个自由度, 三维直线运动测量范围为100μm×100μm×100μm, 分辨率能够达到1nm以下。
光学测量 纳米定位平台 整波长 激光干涉仪 非线性 optical measurement nano-positioning stage integral wavelength laser interferometer nonlinearity
