1 中国科学院光电技术研究所先进光学研制中心，四川 成都 610209
2 中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209
3 中国科学院大学，北京 100049
在光学系统中使用非球面可以有效校正像差，改善像质，进而简化系统结构;并且增大系统口径可以从根本上提高系统的分辨本领，因此在基础科学研究、天文学宇宙探测以及**安全等领域都对大口径非球面镜有着迫切需求。大口径非球面的制造在现代光学制造工程中扮演着重要的角色。本文以大口径非球面镜的先进制造为主题，对大口径非球面镜的光学加工技术，特别是研磨抛光技术及其过程中所采用的面形检测方法进行了综述，特别总结了新一代先进光学制造的技术特征，展望了未来大口径非球面镜的制造策略。
大口径非球面 光学加工 光学测试 large-aperture aspheric mirror optical manufacturing optical testing
1 中国科学院 光电技术研究所, 成都 610209
2 中国科学院 研究生院, 北京 100039
为了能够准确获取基于子孔径拼接的Hindle球检测大口径双曲面镜的Hindle球参数, 研究了Hindle球检测凸双曲面镜的理论模型, 并从几何光学入手, 讨论了基于子孔径拼接的Hindle球检测法的系统结构, 推导了符合子孔径拼接要求的小口径Hindle球的参数计算式。对一个凸双曲面镜进行了在不同测量环带数目下的基于子孔径拼接的Hindle球检测法和经典Hindle球检测法的Hindle球参数对比。结果表明该Hindle球检测方法使Hindle球参数更合理。
光学检测 Hindle法 子孔径拼接 非球面 几何光学 optical measurement Hindle-sphere method sub-aperture stitching aspheric geometric optics 强激光与粒子束
2012, 24(11): 2555
1 中国科学院 光电技术研究所， 成都 610209
2 中国科学院 研究生院， 北京 100039
针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题，提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布，并拟合出不同采样分布的全口径面形，与实际测得全口径面形进行比较。结果表明：当稀疏子孔径采样分布合理时，稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当，所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测，从而提高检测效率
光学检测 大口径镜面 稀疏子孔径 采样 抛光 optical test large-aperture mirror sparse sub-aperture sampling polishing 强激光与粒子束
2011, 23(12): 3193
