1 中国科学院光电技术研究所, 成都 610209
2 中国科学院大学, 北京 100049
提出了基于稀疏子孔径正交多项式的拼接算法.该算法采用Mathematica9.0对圆域Zernike多项式进行Gram-Schimdt正交化, 构造出稀疏子孔径区域内的标准正交多项式——Z-sparse多项式, 并采用该正交多项式进行稀疏子孔径区域波前数据的拟合.实验表明：根据算法重构与直接检测的全孔径波前残差PV=0.071 9λ, RMS=0.007 4λ.该算法可对所提取的七个子孔径波前像差数据进行有效的拼接.
稀疏子孔径 正交多项式 Mathematica符号计算 拼接检测 波面重构 Sparse subaperture Orthogonal polynomials Mathematica symbol calculation Stiching wavefront reconstruction
1 中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209
2 中国科学院大学，北京 100049
稀疏子孔径拼接检测是大口径、超大口径光学系统像质检测的主要方法之一，其拼接检测的精度与子孔径排列方式、数目以及大小密切相关。本文通过建立数学模型，推导出子孔径个数k 在1 到无穷区间取值，子孔径个数k 与填充因子M的关系曲线，从而得出在1.5 m 以下系统检测的最优的七个稀疏子孔径排列布局图，并通过Φ200 mm 自准干涉检验，验证了这种排列布局的合理性。
稀疏子孔径 数学建模 拼接检测 波面重构 干涉测量 sparse subaperture mathematical modeling stitching detection wavefront reconstruction interferometry
1 中国科学院 光电技术研究所， 成都 610209
2 中国科学院 研究生院， 北京 100039
针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题，提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布，并拟合出不同采样分布的全口径面形，与实际测得全口径面形进行比较。结果表明：当稀疏子孔径采样分布合理时，稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当，所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测，从而提高检测效率
光学检测 大口径镜面 稀疏子孔径 采样 抛光 optical test large-aperture mirror sparse sub-aperture sampling polishing 强激光与粒子束
2011, 23(12): 3193
