万泽洪 1邓鸿洋 1雷宇 2陶国裔 1[ ... ]周圣军 1,2,**
作者单位
摘要
1 武汉大学 工业科学研究院,武汉 430072
2 武汉大学 动力与机械学院,武汉 430072
3 广东科学技术职业学院 汽车工程学院,珠海 519090
采用飞秒激光加工4H-SiC压力敏感膜片,研究了飞秒激光深度方向步进间距、扫描路径方向、单脉冲能量、扫描线间距等参数对4H-SiC烧蚀形貌和烧蚀速率的影响。实验结果表明,飞秒激光加工4H-SiC样品表面孔洞的形成主要与激光诱导微沟槽的重叠有关,激光能量分布更均匀能够有效减少4H-SiC被烧蚀表面的激光诱导微沟槽的数量,增大激光扫描路径与激光偏振方向的夹角能够有效降低激光诱导微沟槽的重叠概率,从而抑制孔洞的形成。采用优化后的飞秒激光加工工艺参数,制备出直径为1 600 μm、厚度为100 μm的4H-SiC压力敏感膜片。所制备的4H-SiC压力敏感膜片表面无明显孔洞,边缘过烧蚀深度小于10 μm,实现了4H-SiC压力敏感膜片的低损伤飞秒激光加工。
微纳加工 压力敏感膜片 飞秒激光烧蚀 碳化硅 表面形貌 Micro-nano machining Pressure sensitive diaphragm Femtosecond laser ablation Silicon carbide Surface morphology 
光子学报
2023, 52(1): 0114004
作者单位
摘要
1 中国地质大学(武汉) 工程学院,武汉 430074
2 绿城中国控股有限公司,杭州 310012
3 江汉大学 爆破工程湖北省重点实验室,武汉 430024
为探究CO2相变致裂应力波传播及影响规律,基于自主研发的三向应变测试装置,设计了CO2相变致裂应力波测试方案。利用动态应变测试系统采集CO2相变致裂过程中的应变信号,分析了CO2相变激发的应力波在岩体中的传播与影响规律。研究结果表明:射流方向和垂直射流方向的峰值应力随传播距离的增大均呈指数型衰减,射流方向峰值应力大于垂直射流方向的峰值应力;CO2充装量与定压剪切片厚度是影响CO2相变致裂应力波的重要因素,剪切片厚度一定时,峰值应力随CO2充装量增加而增大,但增大速率逐渐降低;CO2充装量一定时,峰值应力随剪切片厚度增加而增大,且呈持续增长趋势。
CO2相变致裂 动态应变测试 应力波 CO2 phase transition fracturing dynamic strain test stress wave 
爆破
2022, 39(3): 0133
作者单位
摘要
1 武汉大学工业科学研究院,湖北 武汉 430072
2 武汉大学动力与机械学院,湖北 武汉 430072
基于4H-SiC材料的微机电系统(MEMS)器件(如压力传感器、微波功率半导体器件等)在制造过程中,需要利用干法刻蚀技术对4H-SiC材料进行微加工。增加刻蚀速率可以提高加工效率,但是调节刻蚀工艺参数在改变4H-SiC材料刻蚀速率的同时,也会对刻蚀表面粗糙度产生影响,进而影响器件的性能。为了提高SiC材料的刻蚀速率并降低刻蚀表面粗糙度,满足4H-SiC MEMS器件研制的需求,本文通过优化光刻工艺参数(曝光模式、曝光时间、显影时间)获得了良好的光刻图形形貌,改善了刻蚀掩模的剥离效果。实验中采用SF6和O2作为刻蚀气体,镍作为刻蚀掩模,分析了4H-SiC反应离子刻蚀工艺参数(刻蚀气体含量、腔体压强、射频功率)对4H-SiC刻蚀速率和表面粗糙度的影响。实验结果表明,通过优化干法刻蚀工艺参数可以获得原子级平整的刻蚀表面。当SF6的流量为330 mL/min,O2流量为30 mL/min,腔体压强为4 Pa,射频功率为300 W时,4H-SiC材料的刻蚀速率可达到292.3 nm/min,表面均方根粗糙度为0.56 nm。采用优化的刻蚀工艺参数可以实现4H-SiC材料的高速率、高表面质量加工。
材料 碳化硅 光刻 反应离子刻蚀 刻蚀速率 表面粗糙度 
激光与光电子学进展
2021, 58(19): 1922002
作者单位
摘要
石家庄铁道大学 信息科学与技术学院,河北 石家庄 050043
提出了一种基于液晶微透镜阵列的双模成像相机。该相机通过打开或者关闭加载在液晶微透镜阵列上的低频电压信号可以快捷地在传统平面成像模式和光场成像模式之间进行切换。液晶微透镜阵列通过常规紫外光刻和湿法刻蚀技术制作而成。通过将液晶微透镜阵列和感光传感器阵列以及主镜头耦合到一起,构造了一个双模成像相机的原型。通过该双模成像相机开展了相关实验,获取了同一目标物的光场图像和平面图像,并对孔径设计和两种工作模式下的景深进行了分析,给出了光场成像模式下目标物三维信息的计算方法,通过将三维光场数据和对应二维平面数据的信息进行融合获得了高分辨率三维图像。
光场成像 液晶微透镜阵列 三维重建 plenoptic imaging liquid-crystal microlens array 3D reconstruction 
红外与激光工程
2020, 49(8): 20190540
作者单位
摘要
1 华中科技大学 自动化学院, 湖北 武汉 430074
2 石家庄铁道大学 信息科学与技术学院, 河北 石家庄 050043
光场成像可以获取场景的三维信息。通过在主透镜和图像传感器之间插入一个微透镜阵列, 不仅可以记录光线的辐射度, 还记录了光线入射的方向。提出了使用梯度折射率液晶微透镜阵列进行光场成像的方法。该阵列基于向列相液晶材料, 利用其各向异性和双折射的特点, 通过紫外光刻技术和湿法刻蚀技术制作, 具有圆孔阵列图案。在该阵列的上下电极之间加载一个交流电压信号后, 每个微透镜可以有效会聚入射光, 搭建了测试系统来测试该阵列的聚焦特性和焦距。将该阵列与一个主透镜和一片图像传感器耦合得到一个光场成像相机, 并使用该相机采集了图像。
光场成像 液晶微透镜阵列 梯度折射率 light field imaging liquid crystal microlens array gradient index 
红外与激光工程
2017, 46(2): 0220002
作者单位
摘要
中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川 绵阳 621999
设计了一种新型X射线发生器电源,应用高频开关电源技术、高压倍压整流技术与单片机控制技术,成功研制出一台额定电压160 kV,管电流0.4 mA~1.2 mA的用于安检设备的X射线发生器。介绍了X射线发生器的应用场合、工作原理、主要设计思想及国内外研究现状;详细介绍了设计的X射线发生器电源的功能构成,阐述了高压与灯丝高频逆变电路、高压倍压整流电路以及控制系统的拓扑结构、设计过程和仿真结果;最后给出了试验结果以及与安检系统进行联试的扫描图像,测试结果表明,其技术指标达到安检设备用X射线发生器的要求。
X 射线发生器 高压发生器 高频逆变谐振电路 安检系统 X-ray generator high voltage generator high frequency resonance oscillation inverter security check system 
太赫兹科学与电子信息学报
2016, 14(2): 311
雷宇 1,2,*佟庆 1张新宇 1
作者单位
摘要
1 华中科技大学多谱信息处理技术国家级重点实验室, 湖北 武汉 430074
2 石家庄铁道大学信息科学与技术学院, 河北 石家庄 050043
利用向列相液晶材料的各向异性和双折射特点,采用紫外光刻和湿法刻蚀技术,设计并制作了透明的圆孔图案梯度折射率液晶微透镜阵列。搭建了光学测试系统,测试了该阵列的聚焦性能和焦距,并给出了焦距与加载电压之间的关系。将该阵列与主镜头和图像传感器进行耦合,构成一个双模成像相机原型,通过开启或关闭加载电压实现光场成像模式和普通成像模式的快速切换。在两种工作模式下对目标物采集双模原始图像,结果表明该相机既可在光场工作模式下采集三维光场图像,也可在普通工作模式下采集普通图像。
成像系统 液晶微透镜阵列 双模成像 梯度折射率透镜 光场成像 
光学学报
2016, 36(5): 0511004
王兴玲 1,2,3,*刘龙飞 1,2于钢 1,2雷宇 1,2陶亮 1,2
作者单位
摘要
1 民政部国家减灾中心, 北京 100124
2 民政部卫星减灾应用中心, 北京 100124
3 民政部减灾与应急工程重点实验室, 北京 100124
介绍了2010年开始利用环境减灾A、B星CCD传感器获取全球陆地光学遥感影像的工作, 用于研究全球地表覆盖和土地利用情况。环境减灾A、B星是我国第一个以组网方式运行的具有48 h重访周期、30 m中高分辨率的光学星座。利用卫星获取全球陆地光学遥感影像时不仅综合考虑了地面光照条件、云量、季节、地物特性等因素, 同时考虑了卫星观测能力、地面接收能力、全球陆地分布特点、全球云量分布等多种因素。通过一年多的时间, 获取了全球陆地面积85%以上的平均云量小于20%的有效光学影像数据, 获得的数据是我国首个中高分辨率全球覆盖的遥感光学影像集, 已成为我国开展全球环境变化研究最重要的中高分辨率光学影像数据源。文中总结了A、B星全球陆地光学遥感影像获取计划的思路与实际应用效果, 可为后续光学星的规划及有效载荷的设计提供有益的参考。
环境减灾卫星 电荷耦合器件(CCD) 遥感图像 全球影像 HJ-1A/B satellite Charge Coupled Device(CCD) remote sensing image global image 
光学 精密工程
2012, 20(10): 2324
作者单位
摘要
复旦大学 电光源研究所, 上海 200433
为满足直线变压器驱动源(LTD)中大规模开关同步触发的技术需求,提出了一种采用逆LTD结构、基于感应变压器原理的多路LTD开关同步触发技术(LTD-trigger)。它的工作原理类似若干个串联工作的脉冲变压器,即初级输入一个高压快脉冲,通过脉冲变压器的感应耦合后在次级输出多路的同步触发脉冲,且能够与LTD中的气体开关形成很好的对应关系。与传统的触发技术相比,LTD-trigger的同轴结构有效地减小了触发脉冲的延时与抖动,并且通过合理设计,能够满足LTD模块对于同步触发的要求。分析了LTD-trigger的工作原理,建立了电路模型和仿真模型,通过仿真结果和一些故障模式分析,结合已开展的初步实验结果,验证了同步触发技术的可行性。
直线变压器驱动源 同步触发 感应变压器 同轴结构 故障模式 linear transformer driver synchronous triggering inductive transformer coaxial configuration fault modes 
强激光与粒子束
2012, 24(7): 1549
作者单位
摘要
复旦大学 电光源研究所, 上海 200433
近年来,随着快脉冲直线变压器驱动源(LTD)技术的快速发展,装置中气体开关数目成倍增长,多路开关同步触发技术已经成为制约LTD技术发展的瓶颈之一。分别从电脉冲触发、激光触发及基于光导开关(PCSS)的同步触发3个方面,概述了近年来国际上LTD的发展现状,以及各国为实现多路开关同步触发所做的研究工作,阐述了每种触发方案的优缺点,对多级多通道开关的结构及触发特点与要求进行了调查。结合LTD装置同步触发的现状,对未来相关关键技术进行了探讨和展望。
直线变压器驱动源 同步触发 磁耦合 多路开关 触发系统 linear transformer driver synchronization trigger magnetic coupling multi-output switch trigger system 
强激光与粒子束
2012, 24(4): 765

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